Organosilicij Intermedijer · Sredstvo za sililiranje
heksametildisilazan (HMDS)
(Bis(trimetilsilil)amin / HMDS bezvodni)
| CAS br. | 999-97-3 |
| IUPAC naziv | 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan |
| Sinonimi | HMDS, heksa metil disilazan, 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan, bis(trimetilsilil)amin, heksametilsilazan, N-(trimetilsilil)trimetilsililamin |
| Molecular Formula | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| Molecular Weight | 161,39 g/mol |
| HS kod | 2931900090 |
| Dostupna ocjena | Industrial Pharmaceutical Elektronski (5N / 6N) |
Šta je heksametildisilazan (HMDS)? An Overview
heksametildisilazan (HMDS), također napisano kaoheksa metil disilazanili1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan(CAS 999-97-3), je bezbojno, vrlo isparljivo organosilicijumsko jedinjenje sa karakterističnim mirisom nalik amonijaku.HMDS puni obrazac:Heksametildisilazan - naziv koji odražava njegovu strukturu od dvije trimetilsilil grupe premoštene atomom dušika:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Ova jedinstvena disilazanska arhitektura omogućava efikasnu sililaciju protičnih funkcionalnih grupa (hidroksil, amino, karboksil) i izvanrednu hidrofobizaciju površine, čineći HMDS nezamjenjivim kemijskim reagensom u industriji poluvodičke litografije, farmaceutske sinteze, naprednih materijala i površinske obrade.
Za razliku od tradicionalnih sredstava za siliranje kao što je trimetilhlorosilan (TMCS), HMDS nudi blaže uslove reakcije, veći prinos sililacije i značajno niže -generacije proizvoda - kritične prednosti za vrhunsku- proizvodnju gdje je potrebna stroga čistoća i čistoća procesa. HMDS brzo reaguje sa vlagom i oslobađa amonijak, tako da se sa svim vrstama mora rukovati i čuvati pod zaštitom od azota.
Partneri smo s vodećim kineskim proizvođačima -, uključujući objekte certificirane od strane SMIC-a i Yangtze Memory-a - za opskrbu industrijskih, farmaceutskih i elektronskih HMDS-a po konkurentnim cijenama, sa fleksibilnim pakovanjem od gram-reagens bubnjeva do industrijskih IBC tokova, koji opslužuju kupce u Americi, Srednjoj Istočnoj Aziji, Sjevernoj Istočnoj Evropi,
Fizička i hemijska svojstva HMDS-a
HMDS specifikacije - Svi razredi
| Specifikacija | Industrial Grade Površinska obrada / punila |
Pharmaceutical Grade Sinteza lijekova (GMP) |
Electronic Grade Semiconductor Lithography |
|---|---|---|---|
| čistoća (GC) | Veće ili jednako 98,0% | Veće ili jednako 99,5% | Veće ili jednako 99,999% (5N) do 6N za napredne čvorove |
| Sadržaj vode | Manje ili jednako 0,1% | Manje ili jednako 0,02% | Manje ili jednako 0,005% ( Manje ili jednako 50 ppm) |
| Boja (Pt-Co) | Manje ili jednako 30 | Manje ili jednako 10 | Manje ili jednako 5 |
| Tačka ključanja | 125–127 stepeni | 126,0–126,5 stepeni | 126,2 ± 0,2 stepena |
| Tačka paljenja | 17 stepeni (zatvorena šolja) | 17 stepeni (zatvorena šolja) | 17 stepeni (zatvorena šolja) |
| Metalne nečistoće | Nije navedeno | Pojedinačni jon Manji ili jednak 10 ppm | Pojedinačni jon Manji ili jednak 1 ppb (ppt nivo za 14nm čvorove) |
| Rok trajanja | 6 mjeseci (N₂-zapečaćeno) | 12 mjeseci (N₂-zapečaćeno, tamno) | 18 mjeseci (ultra-čist N₂-zapečaćen) |
| Pakovanje | Čelična bačva od 180 kg IBC torba od 1000 kg |
20L HDPE bačva 200L N₂-zapečaćena čelična bačva |
Bubanj od 10L kvarc{1}}obložen 200L ultra-čista čelična bačva |
U skladu sa GB/T 30301-2013, REACH & TSCA. COA, SDS/MSDS i izvještaji o ispitivanju trećih strana dostupni su na zahtjev.
HMDS upotrebe i polja primjene
1. Poluprovodnička litografija - Photoresist Adhesion Promoter
HMDS je industrijski{0}}standardpromotor adhezije, prajmer i hidrofobni premazu litografiji silicijumskih pločica, računajući preko40% ukupne potrošnje HMDS-a. Primijenjen kao prajmer u parnoj-} fazi (VPP) prije fotootpornog premaza, HMDS reaguje sa površinskim hidroksilnim grupama (Si–OH) na pločici da bi se formirao gusti hidrofobni trimetilsililni sloj. Ovo dramatično poboljšava adheziju fotootpornika, sprečava ljuštenje otpornika tokom razvoja i eliminiše formiranje rubnih perlica - osiguravajući precizno fino oblikovanje kruga do28nm čvorovi i ispod.
Kako napredni poluprovodnički čvorovi napreduju do 14nm, 7nm i dalje, zahtjevi za čistoćom su eskalirali na5N (99,999%) i 6N razreda, sa metalnim nečistoćama kontrolisanim na nivou ppb–ppt. Naši elektronski HMDS proizvodi-koriste naprednu tehnologiju uklanjanja tragova metala, ispunjavajući standarde kvalifikacija vodećih fabrika uključujući SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory i UMC.
referenca:SEMI standardi - Čistoća poluprovodničkih materijala ↗
2. Farmaceutska industrija - Sredstvo za sililiranje za sintezu lijekova
U farmaceutskoj sintezi, HMDS se široko koristi kao asililirajuće sredstvoza zaštitu reaktivnih protičkih funkcionalnih grupa (–OH, –NH₂, –COOH) u intermedijarima lijeka, sprječavajući neželjene nuspojave i značajno poboljšavajući selektivnost reakcije i prinos ciljnog proizvoda. To je ključni reagens u sintezi anti-tumorskih, antivirusnih i antialergijskih aktivnih farmaceutskih sastojaka (API).
Naš farmaceutski-HMDS (veća ili jednaka 99,5% čistoće, GMP-kompatibilan) je potvrđen od strane vodećih farmaceutskih CDMO preduzeća i pruža stabilan kvalitet serije neophodan za istraživanje i razvoj lijekova i proizvodnju velikih{3}}razmjera.
referenca:Farmakopeja Sjedinjenih Država (USP) ↗
3. Materijali i površinski tretman - Sredstvo za hidrofobizaciju
HMDS je veoma efikasansredstvo za hidrofobizacijuza anorganska punila kao što su ispareni silicijum dioksid i titanijum dioksid. Modifikacija površine sa HMDS značajno poboljšava kompatibilnost punila i matrice u kompozitima od silikonske gume i epoksidne smole, poboljšavajući mehanička svojstva (žilavost, vlačnu čvrstoću) i otpornost na vremenske uvjete. Široko se koristi u OLED materijalima za kapsuliranje i tretmanu stakla fotonaponskih modula, gdje HMDS-modificirane površine pokazuju značajno poboljšane performanse barijere protiv vlage, produžavajući vijek trajanja u teškim vanjskim okruženjima.
Zapovršinska obrada stakla, keramike i metala, HMDS formira gust, kovalentno vezan hidrofobni film koji sprečava apsorpciju vlage i koroziju.
referenca:PubChem - Heksametildisilazan (NIH) ↗
4. Analitička hemija i fine hemikalije
U analitičkoj hemiji, HMDS se koristi kao areagens za derivatizacijuza GC analizu protonskih jedinjenja (alkoholi, fenoli, karboksilne kiseline). Sililirani derivati pokazuju veću isparljivost i poboljšanu hromatografsku separaciju, omogućavajući preciznu kvantitativnu analizu supstanci u tragovima u složenim matricama.
U finim hemikalijama, HMDS služi kao međuprodukt za vrhunske silikonske tenzide i silikonske smole koje se koriste u svakodnevnim hemikalijama i štampi na tekstilu. Predviđa se da će tržište elektronskih-HMDS-a rasti po CAGR od 18,3% do 2026. godine, potaknuto ubrzanom lokalizacijom poluvodiča i proširenjem farmaceutskog CDMO kapaciteta.
referenca:ECHA REACH registracija - HMDS ↗
5. HMDS kao baza - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS
Osim svoje uloge sililirajućeg agensa, HMDS je ključni prekursor široko korištenih baza metalnih amida:LiHMDS(litijum heksametildisilazid, litijum bis(trimetilsilil)amid),NaHMDS(natrijum heksametildisilazid), iKHMDS(kalijum heksametildisilazid). Ove jake, otežane baze su esencijalni reagensi u farmaceutskoj i finoj hemijskoj sintezi za selektivno formiranje enolata, usmjerenu deprotonaciju i asimetrične reakcije gdje su sterički volumen i kemoselektivnost kritični.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) je najčešće korišten, cijenjen zbog svoje visoke bazičnosti (pKa ~30 u THF) i odlične rastvorljivosti u eteričnim rastvaračima.NaHMDSiKHMDSnude povećanu reaktivnost i koriste se tamo gdje je LiHMDS nedovoljno reaktivan. Sva tri su proizvedena od HMDS-a kao ključnog početnog materijala, što čini isporuku HMDS-a visoke{1}}čistoće kritične za njihovu proizvodnju.
Mi isporučujemo HMDS visoke -čistoće pogodan kao sirovina za proizvodnju LiHMDS, NaHMDS i KHMDS. Kontaktirajte nas za specifikacije na veliko.
Kako se pravi HMDS? Manufacturing Process
HMDS se komercijalno proizvodi na dva osnovna načina. Tradicionalniproces amonolize hlorosilanareaguje trimetilhlorosilan (TMCS) sa viškom amonijaka: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. Nusproizvod HCl se neutralizira, a sirovi proizvod se prečišćava višestepenom rektifikacijom. Alternativazelena tehnologija transaminacijekoristi heksametildisiloksan (HMDSO) i amonijak u katalitičkim uslovima, smanjujući nusproizvode hlorida-i uticaj na životnu sredinu.
Naši partnerski proizvođači upravljaju kontinuiranim proizvodnim linijama za amonolizu sa više-faznim sistemima rektifikacije i molekularnog sita adsorpcionog pročišćavanja, isporučujući dosljednu čistoću od serije do serije u svim razredima.
HMDS skladištenje, stabilnost i sigurno rukovanje
Zahtjevi za skladištenje
Čuvati na hladnom (0-25 stepeni), suvom, dobro-prozračenomeksplozivno{0}}skladištedalje od izvora toplote, otvorenog plamena i direktne sunčeve svetlosti. Sva ambalaža mora biti zatvorena dušikom-kako bi se izolirala vlaga i zrak - HMDS se brzo hidrolizira u kontaktu sa vlažnošću okoline. Industrijska klasa: azotom{4}}zapečaćene čelične bačve. Farmaceutske i elektronske vrste: ultra-čisti azot-zapečaćene HDPE ili kvarcne-bačve (ISO 14644 čisto pakovanje za elektronsku kvalitetu). Odvojite od oksidatora i jakih kiselina sa minimalnim razmakom od 20-stopa ili 30-minutnom vatrom-barijerom. Maksimalni naslaga: 2 sloja za čelične bačve od 180 kg. Opremiti skladište protueksplozijskom rasvjetom i aparatima za gašenje požara suhim prahom ili CO₂.
Napomena o stabilnosti
HMDS je hemijski stabilan kada se skladišti na suvom i pod azotom. Izloženost vlazi uzrokuje hidrolizu; izlaganje jakim kiselinama ili oksidantima može izazvati burne reakcije. Izbjegavajte produženo izlaganje temperaturama iznad 30 stepeni kako biste spriječili ubrzano isparavanje.
Sigurnost i rukovanje (SDS / MSDS sažetak)
LZO potrebna:Antistatička odjeća, rukavice od nitrilne gume (troslojne-za visokorizične operacije), hemijske zaštitne naočare, štitnik za lice i respirator za organsku paru (SCBA za skučene prostore). Zabranjeno jesti, piti ili pušiti tokom operacije.
Odgovor na izlijevanje:Odmah prekinuti izvore paljenja, evakuisati uz vetar. Izolirajte područje izlivanja. Upijajte suhim pijeskom ili soda pepelom - NEMOJTE koristiti vodu. Prenesite apsorbirani materijal u zapečaćene kontejnere za odlaganje. Ne ispuštati u kanalizaciju ili tlo.
Prva pomoć:Sa kože - skinite kontaminiranu odjeću, operite sapunom i vodom duže od ili jednako 15 min. Oči - ispirati vodom duže od ili jednako 15 minuta, potražiti medicinsku pomoć. Udisanje - odmah pređite na svježi zrak. Gutanje - ne izaziva povraćanje; potražiti hitnu medicinsku pomoć. Cijeli SDS/MSDS PDF dostupan je od našeg prodajnog tima.
HMDS cijena - 2025 Tržišna referenca
TheHMDS cijena(cijena heksametildisilazana) značajno varira u zavisnosti od stepena čistoće, specifikacije pakovanja i količine narudžbine. Sljedeće su indikativne referentne cijene za 2025. za proizvode porijeklom iz Kine (f-osnova fabrika):
Veće ili jednako 98,0%
Veće ili jednako 99,5%
Veće ili jednako 99,999% (5N)
Često postavljana pitanja o HMDS-u
P: Šta znači HMDS? Šta je HMDS puni obrazac?
HMDS je skraćenica zaHeksametildisilazan- puni hemijski naziv je 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan, takođe napisan kao heksa metil disilazan. U hemiji, HMDS se posebno odnosi na ovo organosilicijumsko jedinjenje (CAS 999-97-3) sa strukturom (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Napomena: "HMDS" se takođe koristi kao skraćenica u nepovezanim oblastima (npr. medicinski, vojni ili poljoprivredni kontekst), ali u kontekstu hemije i proizvodnje poluprovodnika, HMDS uvek znači heksametildisilazan.
P: Za šta se koristi HMDS u proizvodnji poluprovodnika?
HMDS se koristi kao promotor adhezije u parnoj{0}}fazi (prajmer) koji se nanosi na površine silikonskih pločica prije nanošenja fotootpornog premaza. Reaguje sa površinskim Si–OH grupama kako bi se formirao hidrofobni trimetilsilil monosloj, koji dramatično poboljšava adheziju fotootpornika, sprečava raslojavanje tokom vlažnog razvoja i obezbeđuje tačnost dimenzija finih uzoraka kola. To je standardni procesni materijal u gotovo svakoj fabrici silikonskih pločica širom svijeta, od starih 200 mm do vodećih-ivičnih 300 mm EUV litografskih linija.
P: Koja je razlika između industrijskog i elektronskog HMDS-a?
Industrijska klasa (veća ili jednaka 98,0%) je pogodna za površinsku obradu punila (dimljeni silicijum dioksid, TiO₂), premaza i opće primjene sililacije gdje sadržaj metala u tragovima nije kritičan. Elektronska ocjena (veća ili jednaka 99,999%, 5N) zahtijeva pojedinačne metalne nečistoće ispod 1 ppb - obavezne za poluvodičku litografiju gdje bi metalna kontaminacija ispod -ppb uzrokovala kvarove uređaja. Electronic Grade se pakira pod ultra-čistim ISO 14644 uvjetima u kvarc-obloženim ili certificiranim ultra-čistim čeličnim bačvama, sa svakom serijom praćeno punim ICP-MS izvještajem o tragovima metala.
P: Zašto HMDS reaguje sa vodom i kako je treba čuvati?
HMDS sadrži vezu Si–N–Si koja je vrlo osjetljiva na hidrolizu: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Oslobođeni amonijak stvara povećanje pritiska u zatvorenim posudama, a rezultirajući heksametildisiloksan (HMDSO) kontaminira proizvod. Sve vrste se stoga moraju skladištiti pod suvim azotom u zatvorenim posudama, na 0-25 stepeni, daleko od bilo kakvog izvora vlage. Otvorene posude treba odmah ponovo-zatvoriti i prekriti dušikom nakon svake upotrebe.
P: Šta je HMDS i po čemu se razlikuje od HMDSO?
HMDS (heksametildisilazan, CAS 999-97-3) sadrži vezu Si–N–Si i aktivni je reagens za sililaciju. HMDSO (heksametildisiloksan, CAS 107-46-0) sadrži vezu Si–O–Si i nusproizvod je hidrolize HMDS – daleko je manje reaktivan. HMDS se koristi kao hemijski modifikator površine i reagens za sililaciju; HMDSO se uglavnom koristi kao nereaktivni silikonski fluid i sirovina za sintezu HMDS. To dvoje ne treba miješati kada se specificiraju materijali za litografiju ili farmaceutske procese.
P: Koje potvrde trebam tražiti od HMDS dobavljača?
Za industrijske primjene: ISO 9001 (upravljanje kvalitetom) i ISO 14001 (ekološka). Za farmaceutsku ocjenu: usklađenost sa GMP, mogućnost pružanja USP/EP-referenciranih COA i izvještaja treće strane-QC. Za elektronsku klasu: potvrda kvalifikacije fabrika poluprovodnika (npr. SMIC, UMC certifikati), usklađenost sa standardima SEMI F47 ili ekvivalentnih materijala, potpuni ICP-MS izvještaj o tragovima metala po seriji i čisto pakovanje sa certifikatom ISO 14644. Svi razredi trebaju imati trenutne REACH i TSCA registracije za međunarodni izvoz.
P: Šta se dešava kada HMDS reaguje sa vodom?
HMDS reaguje brzo sa vodom putem hidrolize: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. Proizvodi su heksametildisiloksan (HMDSO) i amonijak. Ova reakcija je egzotermna i stvara plin amonijak, koji stvara pritisak u zatvorenim posudama i smanjuje čistoću proizvoda. Zbog toga se sve vrste HMDS - uključujući industrijske - moraju stalno skladištiti i rukovati pod suvim azotom. Čak i vlažnost okoline može pokrenuti sporu hidrolizu tokom dužih perioda skladištenja.
P: Koje su glavne alternative HMDS-u i kada se daje prednost HMDS-u?
Uobičajene alternative agensa za sililaciju uključuju trimetilhlorosilan (TMCS), N-metil-N-trimetilsililacetamid (MSA) i N,O-bis(trimetilsilil)acetamid (BSA). HMDS je poželjan kada su potrebni blagi reakcijski uvjeti (bez HCl nusproizvoda-), kada je visok prinos sililacije kritičan, ili kada proces zahtijeva minimalnu kontaminaciju od kiselih ili korozivnih nusproizvoda -proizvoda - što ga čini standardnim izborom za obradu poluvodičkih pločica i farmaceutsku sintezu. Za masovnu industrijsku hidrofobizaciju gdje je cijena primarni pokretač, TMCS se može koristiti kao niža-alternativa.
Industrijske reference i standardi
Sveobuhvatna fizičko-hemijska svojstva, toksikološki podaci, GHS klasifikacije i regulatorne informacije.
Međunarodno tijelo za standarde za specifikacije čistoće poluvodičkih materijala i kvalifikacijske protokole.
Zvanični EU REACH dosije: klasifikacije opasnosti, scenariji izloženosti i regulatorni status.
Globalni autoritet za analitičke i{0}}reagense visoke čistoće; referentni standard za HMDS benchmarking kvaliteta.
Zatražite ponudu · Tehničke konsultacije
Zatražite podršku za HMDS cijene i proizvode
Mi isporučujemo industrijski, farmaceutski i elektronski HMDS (CAS 999-97-3) s konkurentnim cijenama i fleksibilnim pakovanjem. Kontaktirajte naš tim za prilagođenu ponudu, SDS/MSDS ili smjernice za aplikaciju.
Srodni proizvodi: Trimetilhlorosilan (TMCS) · Heksametildisiloksan (HMDSO) · Drugi organosilicijumski intermedijeri
Popularni tagovi: heksametildisilazan, Kina heksametildisilazan proizvođači, dobavljači
